為深入打好污染防治攻堅(jiān)戰(zhàn)，推動(dòng)福建省電子信息產(chǎn)業(yè)綠色低碳高質(zhì)量發(fā)展，福建省生態(tài)環(huán)境廳組織起草了《福建省工業(yè)大氣揮發(fā)性有機(jī)物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》的征求意見(jiàn)稿。其中，半導(dǎo)體分立器件制造作為福建省重點(diǎn)發(fā)展的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)之一，其相關(guān)排放控制要求備受關(guān)注。本文將就該標(biāo)準(zhǔn)中涉及半導(dǎo)體分立器件制造的關(guān)鍵內(nèi)容進(jìn)行梳理與展望。

一、 標(biāo)準(zhǔn)制定的背景與意義

揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）是形成臭氧和細(xì)顆粒物（PM2.5）的重要前體物，對(duì)大氣環(huán)境和人體健康構(gòu)成威脅。福建省半導(dǎo)體分立器件制造業(yè)規(guī)模位居全國(guó)前列，在生產(chǎn)過(guò)程中，光刻、刻蝕、清洗、封裝等環(huán)節(jié)均可能使用有機(jī)溶劑、光刻膠、清洗劑等含VOCs的原輔材料，是VOCs排放的重要工業(yè)源之一。

此前，國(guó)家層面已出臺(tái)《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》等通用性規(guī)定，但針對(duì)半導(dǎo)體制造業(yè)精細(xì)化和差異化的管控需求尚顯不足。此次福建省制定地方性綜合排放標(biāo)準(zhǔn)，旨在結(jié)合本省產(chǎn)業(yè)布局、工藝特點(diǎn)和環(huán)境承載力，實(shí)施更精準(zhǔn)、更嚴(yán)格的VOCs管控，推動(dòng)行業(yè)技術(shù)進(jìn)步與污染減排協(xié)同并進(jìn)，為實(shí)現(xiàn)區(qū)域空氣質(zhì)量持續(xù)改善和產(chǎn)業(yè)升級(jí)提供標(biāo)準(zhǔn)支撐。

二、 標(biāo)準(zhǔn)核心內(nèi)容要點(diǎn)（針對(duì)半導(dǎo)體分立器件制造）

1. 管控范圍明確：標(biāo)準(zhǔn)適用于現(xiàn)有、新建、改建和擴(kuò)建的半導(dǎo)體分立器件制造企業(yè)或生產(chǎn)設(shè)施的大氣VOCs排放管理，覆蓋從芯片制造到封裝測(cè)試的全流程。

1. 排放限值加嚴(yán)：針對(duì)工藝廢氣排放口，提出了比現(xiàn)行國(guó)標(biāo)更為嚴(yán)格的VOCs濃度限值。標(biāo)準(zhǔn)可能區(qū)分不同工藝環(huán)節(jié)（如光刻、刻蝕、擴(kuò)散/離子注入、化學(xué)氣相沉積、清洗、封裝等），設(shè)定差異化的限值要求，體現(xiàn)了精準(zhǔn)治污的思路。對(duì)廠界無(wú)組織排放監(jiān)控點(diǎn)的濃度限值也提出了明確要求。

1. 全過(guò)程控制要求：

• 源頭替代：鼓勵(lì)企業(yè)使用低VOCs含量或零VOCs的原輔材料，如水性清洗劑、高固體分光刻膠等。

• 過(guò)程管理：強(qiáng)調(diào)對(duì)含VOCs物料的儲(chǔ)存、轉(zhuǎn)移、輸送、使用及廢棄等全過(guò)程密閉化操作要求，減少無(wú)組織排放。要求企業(yè)建立臺(tái)賬，記錄含VOCs原輔材料的名稱(chēng)、使用量、回收量等信息。

• 末端治理：要求企業(yè)對(duì)VOCs廢氣進(jìn)行有效收集與高效治理。根據(jù)廢氣濃度、風(fēng)量、組分等特性，推薦或要求采用吸附、燃燒（TO、RTO、RCO）、冷凝、吸收等組合治理技術(shù)，并規(guī)定治理設(shè)施的運(yùn)行維護(hù)與去除效率要求。

1. 監(jiān)測(cè)與監(jiān)管要求：規(guī)定了企業(yè)應(yīng)按照規(guī)范設(shè)置采樣口和監(jiān)測(cè)平臺(tái)，定期開(kāi)展自行監(jiān)測(cè)，并保存監(jiān)測(cè)報(bào)告。生態(tài)環(huán)境主管部門(mén)可通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)檢查、自動(dòng)監(jiān)測(cè)、遙感監(jiān)測(cè)等方式進(jìn)行監(jiān)督。標(biāo)準(zhǔn)可能對(duì)重點(diǎn)企業(yè)安裝VOCs在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)（如對(duì)總烴或非甲烷總烴）提出引導(dǎo)性或強(qiáng)制性要求。

1. 實(shí)施時(shí)間表：征求意見(jiàn)稿通常會(huì)為現(xiàn)有企業(yè)和新建項(xiàng)目設(shè)定不同的達(dá)標(biāo)過(guò)渡期，給予現(xiàn)有企業(yè)一定的技術(shù)改造時(shí)間，體現(xiàn)了政策的可操作性。

三、 對(duì)行業(yè)的影響與展望

1. 推動(dòng)技術(shù)升級(jí)與綠色發(fā)展：標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施將倒逼半導(dǎo)體分立器件制造企業(yè)加大環(huán)保投入，加快低VOCs生產(chǎn)工藝和高效治理技術(shù)的研發(fā)與應(yīng)用，從源頭和末端雙向發(fā)力，降低環(huán)境負(fù)荷，提升企業(yè)綠色競(jìng)爭(zhēng)力。

1. 優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)：更嚴(yán)格的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)將加速淘汰落后產(chǎn)能和不具備升級(jí)改造條件的企業(yè)，有利于資源向技術(shù)先進(jìn)、管理規(guī)范的龍頭企業(yè)集中，促進(jìn)福建省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化和整體升級(jí)。

1. 面臨挑戰(zhàn)與機(jī)遇并存：短期內(nèi)，企業(yè)可能面臨設(shè)備改造、運(yùn)行成本上升的壓力，尤其是中小型企業(yè)。但長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)看，率先達(dá)到高標(biāo)準(zhǔn)的企業(yè)將在市場(chǎng)準(zhǔn)入、品牌形象、可持續(xù)發(fā)展方面占據(jù)優(yōu)勢(shì)。標(biāo)準(zhǔn)也將催生和壯大本地環(huán)保技術(shù)服務(wù)市場(chǎng)（如治理技術(shù)、監(jiān)測(cè)服務(wù)等）。

1. 協(xié)同減污降碳：高效的VOCs治理工藝（如蓄熱式燃燒）在銷(xiāo)毀有機(jī)物的同時(shí)可實(shí)現(xiàn)熱能回收，有助于企業(yè)節(jié)能降耗。標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施有望促進(jìn)污染物與溫室氣體的協(xié)同減排。

目前，該標(biāo)準(zhǔn)尚處于征求意見(jiàn)階段，相關(guān)限值、具體要求及實(shí)施細(xì)節(jié)可能根據(jù)反饋進(jìn)行優(yōu)化調(diào)整。建議省內(nèi)半導(dǎo)體分立器件制造企業(yè)密切關(guān)注標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)展，提前開(kāi)展現(xiàn)狀評(píng)估與減排規(guī)劃，積極參與意見(jiàn)反饋，共同制定出一部科學(xué)、可行、有效的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)，為守護(hù)“福建藍(lán)”和建設(shè)“芯”高地貢獻(xiàn)力量。